苏州清煜半导体申请沉积有复合涂层的多孔石墨片及其制备方法专利,避免多孔石墨片被碳化硅气氛腐蚀:石墨碳片

金融界2025年8月22日消息,国家知识产权局信息显示,苏州清煜半导体科技有限公司申请一项名为“一种沉积有复合涂层的多孔石墨片及其制备方法、应用”的专利,公开号CN120518399A,申请日期为2025年05月石墨碳片

专利摘要显示,本发明涉及碳化硅长晶用过滤材料技术领域,具体涉及一种沉积有复合涂层的多孔石墨片及其制备方法、应用,包括以下步骤:S1、将造孔微球浸入到表面处理液,进行预处理;S2、将碳前驱体加热至完全熔融,再将造孔微球、增强体加入到熔体中,形成混合物,进行预压处理,压制成坯体;S3:将坯体放入到加热设备中,进行升温固化处理、碳化处理,得到增强多孔石墨片;S4:向沉积装置内持续输入、输出第一混合气体,进行预沉积;向沉积装置内持续输入、输出第二混合气体,进行沉积,得到沉积有复合涂层的多孔石墨片石墨碳片。添加增强体提升多孔石墨片的机械性能,能够有效避免多孔石墨片被碳化硅气氛腐蚀、粉化从而降低单晶质量的现象发生。

天眼查资料显示,苏州清煜半导体科技有限公司,成立于2025年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业石墨碳片。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州清煜半导体科技有限公司共对外投资了1家企业,专利信息7条。

来源:金融界

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